1、制冷壓縮機(jī)內(nèi)無敲擊聲，壓縮機(jī)正常運(yùn)轉(zhuǎn)，膨脹閥開度調(diào)節(jié)合適，運(yùn)轉(zhuǎn)中只有壓縮機(jī)吸、排氣聲，不產(chǎn)生敲擊或其它不正常聲響。

　　2、壓縮機(jī)各摩擦部位溫度正常，無激熱現(xiàn)象。壓縮機(jī)各摩擦部位、軸承與軸頸接觸良好，潤滑正常，不產(chǎn)生超過環(huán)境溫度。

　　3、曲軸箱油面處在正常位置，一般壓縮機(jī)曲軸箱正常油面應(yīng)在視油鏡中間位置。如果是兩個(gè)油鏡，則正常油面應(yīng)在上油鏡的水平線上，但低不得低于下油鏡水平線或見不到油位。另外，在壓縮機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)過程中滑油不應(yīng)起泡。

　　4、油壓過低會(huì)造成各摩部件表面的干摩或卸載一能量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)動(dòng)作遲緩；油壓過高不但易損壞油泵軸、鍵及傳動(dòng)件，而且會(huì)使各摩擦面之間進(jìn)油過多，增加摩擦阻力。。

　　5、壓縮機(jī)無結(jié)霜現(xiàn)象，制冷系統(tǒng)工作過程中，壓縮機(jī)回氣管路結(jié)霜應(yīng)屬正常現(xiàn)象，但當(dāng)操作不良或膨脹閥調(diào)整不當(dāng)時(shí)，往往會(huì)造成壓縮機(jī)氣缸壁和機(jī)體結(jié)霜，嚴(yán)重時(shí)可能造成壓縮機(jī)“液擊”。

　　6、光刻機(jī)冷卻循環(huán)水裝置制冷系統(tǒng)各輔助設(shè)備處于正常工作狀態(tài)，膨脹閥開度適當(dāng)；各風(fēng)機(jī)及電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)；水循環(huán)系統(tǒng)的水泵運(yùn)轉(zhuǎn)正常，無異常聲響；水循環(huán)管路及各連接處無嚴(yán)重漏水現(xiàn)象；更重要的是制冷系統(tǒng)所有設(shè)備連接管路不允許有制冷劑泄漏現(xiàn)象。

　　7、光刻機(jī)冷卻循環(huán)水裝置制冷系統(tǒng)所有壓力及溫度指示正確，壓力表、溫度表指針穩(wěn)定；高、低油壓控制器調(diào)整適當(dāng)，在所要求之壓力數(shù)值范圍內(nèi)能起到自動(dòng)控制和保護(hù)作用。

8、制冷系統(tǒng)正常工作時(shí)，其冷凝壓力與冷凝溫度，蒸發(fā)壓力與蒸發(fā)溫度呈對應(yīng)關(guān)系。