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光刻機冷卻循環裝置常見系統故障

 更新時間:2021-03-24 點擊量:1228

  1、回液:對于使用膨脹閥的制冷系統,回液與膨脹閥選型和使用不當密切相關。膨脹閥選型過大、過熱度設定太小、感溫包安裝方法不正確或絕熱包扎破損、膨脹閥失靈都可能造成回液。對于使用毛細管的小制冷系統而言,加液量過大會引起回液。蒸發器結霜嚴重或風扇故障時傳熱變差,未蒸發的液體會引起回液。溫度頻繁波動也會引起膨脹閥反應失靈而引起回液。

 光刻機冷卻循環裝置

  2、帶液啟動:壓縮機內的潤滑油劇烈起泡的現象叫帶液啟動。帶液啟動時的起泡現象可以在油視鏡上清楚地觀察到。根本原因是潤滑油中溶解的以及沉在潤滑油下面了大量的制冷劑,在壓力突然降低時突然沸騰,并引起潤滑油的起泡現象,很容易引起液擊。

  3、排氣溫度過高:排氣溫度過高的原因主要有以下幾種:回氣溫度高、電機加熱量大、壓縮比高、冷凝壓力高、制冷劑的絕熱指數、制冷劑選擇不當。

  4、液擊:為了保證壓縮機的運轉,防止產生液擊現象,要求吸氣溫度比蒸發溫度高一點,即應具有一定的過熱度。吸氣溫度正常情況下應比蒸發溫度高。

  5、吸氣溫度高:系統中制冷劑充注量不足,或膨脹閥開啟度過小,膨脹閥口濾網堵塞,回氣管道隔熱不好或管道過長等。

6、排氣溫度過低:節流閥或者干燥過濾器冰堵或臟堵,以及過濾器堵塞,制冷劑充注量不足。

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