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半導(dǎo)體晶圓制造用Chiller丨光刻機溫控0.1℃

簡要描述:【無錫冠亞】是一家專注提供高低溫控溫解決方案的設(shè)備廠家,公司主要生產(chǎn)高低溫沖擊氣流儀(熱流儀)、chiller、超低溫制冷機、高低溫測試機機、高低溫沖擊箱等各種為通訊、光模塊、集成電路芯片、航空航天、天文探測、電池包氫能源等領(lǐng)域的可靠性測試提供整套溫度環(huán)境解決方案。半導(dǎo)體晶圓制造用Chiller丨光刻機溫控0.1℃

  • 產(chǎn)品型號:ETCU-015W
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-03-20
  • 訪  問  量:553
詳情介紹
品牌冠亞恒溫冷卻方式水冷式
價格區(qū)間10萬-50萬產(chǎn)地類別國產(chǎn)
儀器種類一體式應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣

半導(dǎo)體晶圓制造用Chiller丨光刻機溫控0.1℃

半導(dǎo)體晶圓制造用Chiller丨光刻機溫控0.1℃


晶圓制造是半導(dǎo)體行業(yè)的核心環(huán)節(jié),其過程對溫度控制的要求高。晶圓制造領(lǐng)域控溫Chiller作為晶圓制造領(lǐng)域的配套使用的控溫設(shè)備,對保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率起著一定作用。

一、晶圓制造過程簡介

晶圓制造涉及多個復(fù)雜步驟,包括光刻、蝕刻、擴散、離子注入等。這些步驟都需要在控制的溫度條件下進行,以確保晶圓上的微電路圖案準(zhǔn)確無誤。溫度的微小變化都可能導(dǎo)致產(chǎn)品性能的大幅下降,甚至造成生產(chǎn)失敗。

二、Chiller的作用與重要性

晶圓制造領(lǐng)域控溫Chiller的主要作用是通過循環(huán)冷卻水來維持晶圓制造設(shè)備的溫度穩(wěn)定。在光刻過程中,Chiller通過控制光刻膠的溫度,保持其黏度和揮發(fā)速率的穩(wěn)定,減少線寬偏差。同時,晶圓制造領(lǐng)域控溫Chiller還能控制光學(xué)系統(tǒng)的熱變形,降低像差。

1、穩(wěn)定光刻膠性能,Chiller能夠維持光刻膠溫度在很小的范圍內(nèi),避免溫度波動導(dǎo)致光刻膠黏度變化或溶劑揮發(fā)速率異常。

2、控制光學(xué)系統(tǒng)熱變形,通過循環(huán)冷卻水導(dǎo)出熱量,確保光學(xué)系統(tǒng)形變量控制在0.1nm以內(nèi),降低像差。

3、優(yōu)化工藝窗口,通過調(diào)節(jié)光刻機內(nèi)部環(huán)境溫度,間接控制光刻膠的曝光度,擴大焦深范圍。

4、動態(tài)響應(yīng)與異常防控,采用PID算法與變頻壓縮機的Chiller,可在短時間內(nèi)響應(yīng)光刻機的瞬時熱量激增,縮短溫度恢復(fù)時間。

三、Chiller的技術(shù)特點

具有高精度溫度控制,晶圓制造領(lǐng)域控溫Chiller能夠?qū)崿F(xiàn)很小的溫度波動控制,滿足晶圓制造對溫度精度的嚴(yán)苛要求。設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性有助于維持晶圓制造過程中的溫度穩(wěn)定性。

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷進步,對Chiller的性能要求也在不斷提高。未來的Chiller需要具備更高的溫度控制精度、更快的響應(yīng)速度以及更強的適應(yīng)性。Chiller在晶圓制造領(lǐng)域不僅能夠提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率,還能夠降低影響。隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,晶圓制造領(lǐng)域控溫Chiller將繼續(xù)在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域發(fā)揮其作用,并推動發(fā)展。

半導(dǎo)體晶圓制造用Chiller丨光刻機溫控0.1℃



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