在制藥化工行業(yè)，光刻機(jī)用冷水機(jī)組是使用較多的制冷設(shè)備，常配套用于各種反應(yīng)釜進(jìn)行制冷反應(yīng)，其具備運(yùn)作平穩(wěn)靠譜的優(yōu)勢、常見故障少、特性好、震動小，噪音低、便于維護(hù)保養(yǎng)、使用期限長等優(yōu)勢。

　　1、光刻機(jī)用冷水機(jī)組設(shè)備可依據(jù)冷載貨量的尺寸，能夠應(yīng)用一臺設(shè)備或幾臺設(shè)備的組成。制冷壓縮機(jī)能夠依據(jù)負(fù)荷轉(zhuǎn)變 全自動更替運(yùn)作，自動調(diào)節(jié)動能，均衡每一個(gè)制冷壓縮機(jī)的時(shí)間，大大的增加了使用期限。

　　2、光刻機(jī)用冷水機(jī)組蒸發(fā)器的銅管選用內(nèi)，外螺桿式壓縮機(jī)提升管。銅管的表層含有外螺紋，銅管的外表層光潔、排熱效果非常的好。蒸發(fā)器行為主體由25mm厚的PE防靜電膠皮絕緣層，無冷凝，制冷損害小。

　　3、光刻機(jī)用冷水機(jī)組維護(hù)系統(tǒng)軟件設(shè)備包含：制冷壓縮機(jī)延時(shí)啟動保護(hù)裝置、過流保護(hù)器、高壓低壓保護(hù)裝置、溫控器、防寒電源開關(guān)、熔斷絲電源插頭、電子器件時(shí)間維護(hù)閥門、制冷壓縮機(jī)過過載保護(hù)器、制冷壓縮機(jī)經(jīng)常運(yùn)行保護(hù)裝置和出現(xiàn)異常標(biāo)示保證機(jī)器設(shè)備一切正常運(yùn)作。

　　4、智能化的電子計(jì)算機(jī)自動控制系統(tǒng)，它具備多種多樣作用及其紀(jì)錄常見故障緣故。實(shí)際操作簡易，服務(wù)器聯(lián)接到開關(guān)電源。設(shè)備故障率低，性能高，安裝操作方便，控制系統(tǒng)可及時(shí)，形象化，靠譜地開展調(diào)節(jié)。

5、設(shè)備的冷卻器成梯狀低肋管，以提升熱傳導(dǎo)工作能力。銅管表層光潔，可減少壓力，便于清理和維護(hù)保養(yǎng)。